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          干式真空泵类型选择

          点击次数:   更新时间:17/04/25 08:27:04     来源:www.advomaster.com关闭分    享:
            在干式真空泵的使用过程中上海快3,选择合适型号的设备可有效的解决真空本泵设备的两大问题上海快3上海快3,其一是泵的工作介质返流污染被抽容器,从而对产品质量上海快3、数量和维护成本都造成影响上海快3,所以型号的选择非常关键。
            二是由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质上海快3,使泵不能正常工作。我公司产品型号齐全上海快3上海快3,大致可分为:
            1上海快3、双圆裂片式。其设计和目前较为流行和广泛应用的罗茨泵非常相似上海快3上海快3上海快3。事实上上海快3上海快3,一些早期的干泵设计思想就是将罗茨泵叠加起来上海快3。这种多级设计使得气体通路相当复杂上海快3上海快3,并且每一及都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。同时上海快3上海快3,为了达到好的真空度上海快3上海快3,对各级的间隙有非常严格的要求上海快3上海快3。当然,这种设计由于增加了内部的压缩比而使得其耗电量相对较低上海快3上海快3。
            2、内部压缩型螺杆式上海快3上海快3上海快3。除了使用一对非等距螺杆以外,内部压缩型螺杆式设计和外部压缩型螺杆式设计的基本原理非常相似上海快3。螺杆间容积的不断减小使得其内部产生压缩上海快3上海快3。这种设计由于产生内部压缩而使得其耗电量降低到同多级泵相当的水平上海快3上海快3。但在很多工艺中上海快3上海快3,这种内部压缩同多级泵一样上海快3,非常容易造成气体在泵体内的物理化学变化而产生固化或液化上海快3上海快3。

          干式真空泵

            3上海快3上海快3上海快3、组合式(罗茨+爪)上海快3上海快3。设计用罗茨来提高在较低压力下的抽气效率,用爪来提高在较高压力下的抽气效率上海快3上海快3上海快3。它的基本原理和气体通路同前面介绍的圆裂片式设计完全相同。也有些厂家将其末尾一层改为星型设计上海快3,这样可以在旋转一圈中将气体分为五份上海快3上海快3上海快3,就像三圆裂片式设计可以将其分为三份上海快3上海快3上海快3。同样上海快3,在很多工艺中上海快3上海快3,组合式设计的每一层都需要较大流量的氮气来起到稀释和隔离作用上海快3上海快3。
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            5上海快3、外部压缩型螺杆式上海快3。使用一对等距螺杆。这使得内部压缩减到较小,同时使得气体通路觉短也较为简单上海快3上海快3。这样上海快3上海快3上海快3上海快3上海快3,气体在干式真空泵体内停留的时间也较短上海快3。虽然这种设计由于减少了内部的压缩比而使得其耗电量相对较高上海快3,但在很多复杂的半导体工艺中表现出较高的稳定性上海快3上海快3。这种单级设计使得其对氮气用量的要求也非常小而且简单上海快3上海快3,这样就使得其在不同工艺中有很好的互换性上海快3。在很多清洁的工艺中甚至可以不用氮气。
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            改:2020.2.25

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